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home 爱游戏首页网站 - 晶圆传输机器人 - Loadport 晶圆装载装置
产品优势
可挂载
可挂载
可挂载到符合SEMI标准的EFEM上
自动识别
自动识别
自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态
防夹手功能
防夹手功能
内置防夹手功能
RFID
RFID
具有RFID读取功能
产品参数
重复位置精度
±0.1mm
晶圆尺寸
8 " 12 "
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